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待處理的低溫有機(jī)廢氣在入口風(fēng)機(jī)作用下進(jìn)入蓄熱室A的陶瓷介質(zhì)層，（該陶瓷介質(zhì)已經(jīng)把上一循環(huán)的熱量“貯存”起來），陶瓷釋放熱量溫度降低，而有機(jī)廢氣升至較高的溫度之后進(jìn)入燃燒室。在燃燒室中，燃燒器燃燒燃料放熱，使廢氣升至設(shè)定的氧化溫度760℃，廢氣中的有機(jī)物被分解成CO2和H2O。由于廢氣經(jīng)過蓄熱室預(yù)熱，廢氣氧化也釋放一定的熱量，所以燃燒器燃料的用量較少。氧化室有兩個(gè)作用：一是保證廢氣能達(dá)到設(shè)定的氧化溫度，二是保證有足夠的停留時(shí)間使廢氣充分氧化。
廢氣成為凈化的高溫氣體后離開燃燒室，進(jìn)入蓄熱室C（上兩個(gè)循環(huán)陶瓷介質(zhì)已被冷卻吹掃），釋放熱量，溫度降低后排放，而蓄熱室C的陶瓷吸熱，貯存大量的熱量（用于下個(gè)循環(huán)加熱使用）。蓄熱室B在這個(gè)循環(huán)中執(zhí)行吹掃功能。
完成后，蓄熱室的進(jìn)氣與出氣閥門進(jìn)行一次切換，蓄熱室C進(jìn)氣，蓄熱室B出氣，蓄熱室A吹掃；再下個(gè)循環(huán)則是蓄熱室B進(jìn)氣，蓄熱室A出氣，蓄熱室C吹掃，如此不斷地交替進(jìn)行。
當(dāng)RTO設(shè)備還沒達(dá)到處理狀態(tài)或停運(yùn)時(shí)，廢氣可暫時(shí)通過旁通進(jìn)入煙囪排放。
為了環(huán)保節(jié)能，在RTO尾部可設(shè)置換熱器，進(jìn)行余熱利用。
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